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半导体废气处理方法

半导体废气处理方法

半导体制造工艺中需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体,这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用,产生酸性、碱性、有机物等废气,这些废气如果没有经过处理直接排放,将造成严重的污染问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,因此,必须对半导体废气进行净化处理后,达到大气污染物标准排放。